精度の製品一覧

SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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レーザトリミング装置 LMT-TR

東レエンジニアリング株式会社

±2µm以下の高精度で除去するレーザトリミング装置

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フリップチップボンダー FC5000ML

東レエンジニアリング株式会社

高精度マイクロLED用フリップチップボンダー

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濾過精工㈱ 精密濾過装置

ユアサネオテック株式会社

精密機械用クーラントの循環使用を飛躍的に長寿化し、 加工精度・生産効率の向上と、廃棄コストの低減を実現。

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超薄型マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

株式会社堀場エステック

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフロー モジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現していま…

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UTVW-R2800H

株式会社ダイヘン

DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

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