拡散の製品一覧
BC7300
キヤノンアネルバ株式会社
原子拡散（ADB）接合装置
常温ウェーハ接合装置BOND MEISTER
日本電産マシンツール株式会社
接合プロセスに新たな地平を開く 常温ウェーハ接合装置
拡散接合による半導体チタン部材開発
東北特殊鋼株式会社
純チタン活用が着目され始めており半導体製造装置部材などの開発ニーズが増えております。 写真は純チタン製の見本品です。（φ300×20mm厚） 具…
A412 PLUS／A400
ASM International NV
A412：300mmウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置 A400：200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散／CVD装置
Harrier-L
Eugene Technology
バッチ式高生産性LPCVD／プラズマALDプロセス対応装置
縦型熱処理装置AVP/RVP/RVP-30
SPPテクノロジーズ株式会社
子会社SPT Microtechnologies USA社製品
300mmウェーハ対応・ラージバッチ縦型炉 VF-5900
ジェイテクトサーモシステム株式会社
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシ…
原子拡散接合タイプ常温接合装置
株式会社ムサシノエンジニアリング
基礎研究の用途から量産まで、幅広い用途での装置設計が可能
原子拡散接合装置 BC7000（SEMICON Japan 2020 Virtual出展：新製品）
常温接合で未来を拓く!
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