ドライエッチングの製品一覧

CF4/H2プラズマによるエピタキシャル成長したSi0.7Ge0.3/Si/Si0.7Ge0.3積層膜からのSi ナノシートの形成
グローバルネット株式会社

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名大院工、尾崎 孝太朗

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エピタキシャル成長したSi0.7Ge0.3およびSi 薄膜におけるH2希釈CF4ガスによるドライエッチング ? 基板温度依存性?
グローバルネット株式会社

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名大院工、尾崎 孝太朗

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二次元電子ガスを有さない薄層AlGaN/GaNヘテロ構造へのオーミック接触に対する多端子ホール測定
グローバルネット株式会社

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アドバンテスト研究所、瓜生 和也

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EID AlGaN/GaN MOS-HEMT のゲート電極直下の電子状態解析
グローバルネット株式会社

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三菱電機、南條 拓真

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AI・IoT 時代に向けた 3D ・チップレット集積技術の開発
グローバルネット株式会社

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アルバック、森川 泰宏

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ミニマルメタルエッチングプロセスの開発と特性評価
グローバルネット株式会社

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産総研、田中 宏幸

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ウエハ・基板加工ファウンドリー
グローバルネット株式会社

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お客様の細かいご要望にお応えし、多種多様な加工ウエハを提供します!

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NLD-570

株式会社アルバック

研究開発向けNLDドライエッチング装置

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NE-5700/NE-7800

株式会社アルバック

量産用ドライエッチング装置

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APIOS NE-950EX

株式会社アルバック

LED向け量産専用ドライエッチング装置

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