バッチ式の製品一覧

RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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SXシリーズ

株式会社アルバック

 バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

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SVシリーズ

株式会社アルバック

バッチ式スパッタリング装置

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ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)

PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

PHT株式会社

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

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Sonosys社 超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄用)

ティックコーポレーション株式会社

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

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Harrier-M

Eugene Technology

ミニバッチ式ALD装置

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【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)

ナブテスコサービス株式会社

【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。

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Harrier-L

Eugene Technology

バッチ式高生産性LPCVD/プラズマALDプロセス対応装置

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WS-620C/ WS-820L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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