プラズマの製品一覧

Harrier-L

Eugene Technology

バッチ式高生産性LPCVD/プラズマALDプロセス対応装置

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PECVD装置NF-300H

Piotech

新世代の3次元フラッシュメモリチップ(3D NAND)に応用した国産初のプラズマCVD装置

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プラズマALD装置 AD-230LP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社サムコ

電子デバイスの絶縁膜、パッシベーション膜に

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ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」

芝浦メカトロニクス株式会社

プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…

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