基板の製品一覧
イオン注入されたSi 基板のマイクロ波加熱
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沖縄高専、藤井 知
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シリコン薄膜スーパージャンクション構造を用いた横型パワーMOSFET
株式会社グローバルネット
東大生研、李 珍秀
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超伝導量子ビット制御用クライオCMOS における高電圧nMOSFET の低温特性
株式会社グローバルネット
慶大理工、押尾 世文
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UV/Dry Air 処理による半導体基板上フッ素系ポリマー膜の除去
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熊大院自、小石 航平
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CuI を原料とする選択CVD 法によるShallow-trench 上へのCu 成長
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茨城大院、宮本 裕
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高周波パワーアンプ向け3 次元インダクタ素子に関する層間膜プロセスの開発
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住友電気工業株式会社、新江 定憲
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実験室系HAXPES を用いた電圧印加オペランド測定の
MOS 構造における不純物濃度依存性の解析
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明治大理工、箕輪 卓哉
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フレキシブルエレクトロニクスに向けた単結晶シリコン基板のMEMS 微細加?によるフレキシブル化
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?阪技術研、?根 秀勝
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エピタキシャル成長したSi0.7Ge0.3およびSi 薄膜におけるH2希釈CF4ガスによるドライエッチング ? 基板温度依存性?
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名大院工、尾崎 孝太朗
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電子デバイス用基板とCMP関連市場分析レポート2025
株式会社グローバルネット
基板と対応CMPプロセス装置、材料をこの一冊で把握できる!
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