スパッタリングの製品一覧
Segul
株式会社アルバック
GaNスパッタリングモジュール
EL3400
キヤノンアネルバ株式会社
高密度実装向けスパッタリング装置
Sigma fxp PVD
SPST Technology
パワーデバイス、TSV,MEMSなどの形成に最適なスパッタリング装置
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300
スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能
ENTRON-EX2 W300
マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。
ENTRON N300
マルチチャンバ型スパッタリング装置
IC7500
主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置
FC7100
当社独自のスパッタリング技術によるダメージレス・メタルゲート量産用のφ300mm対応クラスター式スパッタリング装置
Endura Cirrus RT PVD Cobalt
Applied Materials,Inc
Co薄膜形成用PVDシステム
ENDURA AMBER PVD
Cuシード層形成用PVD装置
関連用語
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「スパッタリング」の関連企業一覧
株式会社 九州セミコンダクターKAW
寧波江豊電子材料(Konfoong Materials International)
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