信頼性を高めたいの製品一覧
枚葉式自動洗浄装置
PHT株式会社
本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…
精密研磨装置 MAシリーズ
ムサシノ電子株式会社
試料ホルダーを用いて最適な研磨加工をご提案致します。 研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP…
ScAlMgO4(SAM)ウェーハ
株式会社豊港
豊港化学では、ScAlMgO4ウェーハなどの製品を取り扱っております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/scai…
膜付ウェーハ
豊港化学では、膜付ウェーハなどの製品を取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/film-coate…
ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
EFEM・ソータ
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
ソリッドステートマイクロ波電源システム
東京計器株式会社
ソリッドステート特徴の周波数選択と長寿命と高信頼性を備えたマイクロ波電源。 自社の実装技術によりon10s/off10s 150万回を実現! 自社の技…
ソリッドステートマイクロ波電源『300W』
研究室での実験等に気軽に使用できるよう、冷却は空冷方式になり、ポータブルタイプで一人でも持ち運びができるようになっている。
枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置
キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
関連用語
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ナブテスコサービス 株式会社
弊社は自動着脱装置、配管自動切換装置、コネクタを設計・製造・販売しております。お客様のご要望に合わせてオーダーメイドで製作致します。半…
ムサシノ電子 株式会社
弊社では長年にわたり精密加工に最適な研磨装置や切断機(ダイヤモンドワイヤーソー、ブレードソー)、スクライバーなどを製造してきました。特…
株式会社 豊港
株式会社豊港は2011年に設立、豊港化学の半導体事業が、2015年から始まりました。 生成AIを発展進んでいながら、パソコン、スマートフォン、タ…
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