信頼性を高めたいの製品一覧
SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置
PHT株式会社
本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…
石英向けフッ素樹脂コーティング・ライニング
日本フッソ工業株式会社
「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします!」
電子材料向け高純度焼付ライニング
「高純度フォトレジスト液製造設備関連の課題は日本フッソ工業にお任せください!」
交換式ゴムコレット(交換式ラバーチップ)
有限会社オルテコーポレーション
3つの形状から選べる、半導体チップの持ち帰りエラーがほぼ「ゼロ」になるまで改善
精密研磨装置 MAシリーズ
ムサシノ電子株式会社
試料ホルダーを用いて最適な研磨加工をご提案致します。 研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP…
ScAlMgO4(SAM)ウェーハ
株式会社豊港
豊港化学では、ScAlMgO4ウェーハなどの製品を取り扱っております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/scai…
膜付ウェーハ
豊港化学では、膜付ウェーハなどの製品を取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/film-coate…
ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
EFEM・ソータ
クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
関連用語
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ナブテスコサービス 株式会社
弊社は自動着脱装置、配管自動切換装置、コネクタを設計・製造・販売しております。お客様のご要望に合わせてオーダーメイドで製作致します。半…
ムサシノ電子 株式会社
弊社では長年にわたり精密加工に最適な研磨装置や切断機(ダイヤモンドワイヤーソー、ブレードソー)、スクライバーなどを製造してきました。特…
株式会社 豊港
株式会社豊港は2011年に設立、豊港化学の半導体事業が、2015年から始まりました。 生成AIを発展進んでいながら、パソコン、スマートフォン、タ…
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