信頼性を高めたいの製品一覧

SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…

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石英向けフッ素樹脂コーティング・ライニング

日本フッソ工業株式会社

「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします!」

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電子材料向け高純度焼付ライニング

日本フッソ工業株式会社

「高純度フォトレジスト液製造設備関連の課題は日本フッソ工業にお任せください!」

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交換式ゴムコレット(交換式ラバーチップ)

有限会社オルテコーポレーション

3つの形状から選べる、半導体チップの持ち帰りエラーがほぼ「ゼロ」になるまで改善

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精密研磨装置 MAシリーズ

ムサシノ電子株式会社

試料ホルダーを用いて最適な研磨加工をご提案致します。 研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP…

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ScAlMgO4(SAM)ウェーハ

株式会社豊港

豊港化学では、ScAlMgO4ウェーハなどの製品を取り扱っております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/scai…

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膜付ウェーハ

株式会社豊港

豊港化学では、膜付ウェーハなどの製品を取扱しております。 下記のURLをご参照ください。 URL:https://toyokou.jp/semiconductor/film-coate…

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ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)

PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

PHT株式会社

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

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EFEM・ソータ

PHT株式会社

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

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