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[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年01月21日

TOF-SIMS:Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。また、スパッタイオン源を用いて、深さ方向の分布分析も可能です。

・最表面を高感度で分析可能
・HからUまでの全元素、C,H,N,O,P,Sなどからなる有機物の分子イオンが取得可能
・イメージ分析が可能
・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能
・異物検査装置の座標データとリンケージが可能
・ミクロンオーダーの微小異物から数cmまでの定性が可能
・深さ方向分析の定性分析が可能

■MSTの特徴
・雰囲気制御下で試料開封から測定まで行うことで、大気中の酸素や水分による劣化を最小限に抑えた状態評価が可能
・クリーンルーム内で試料開封から測定まで行うことで、大気中の二次汚染を最小限に抑えた定性評価が可能

基本情報

○適用例
・変色部(曇り、シミなど)、剥離部の成分評価・原因調査
・残渣、付着物、異物(数μm以上)の有機・無機定性分析
・処理前後の最表面評価
・高分子フィルムの添加剤の分布評価
・有機EL・有機太陽電池の層構造に対応した成分情報の評価
・金属薄膜の層構造評価・不純物の定性評価
・二次電池のバインダーの定性・Liの状態・劣化評価
・粉体表面からの不純物・コーティング剤の分布評価
・薬剤の皮膚や毛髪への浸透評価

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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種:試験・分析・測定  所在地:東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

製品開発・品質管理を強力サポートする、受託分析サービス。 公正中立な第三者機関として、最先端の科学技術の発展に貢献します。

エレクトロニクス分野・マテリアル分野・ライフサイエンス分野などの製品・材料・素材の分析を、100種以上の分析手法を取り揃えて承っております。
お客様の「なぜ?」「困った…」「どうなってる?」に分析データ・解析結果でお応えします。

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