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［XRR］X線反射率法

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年01月17日
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XRR：X-ray Reflectivity

XRRは、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。

・膜厚の評価が可能（2～300nm 程度）
・密度の評価が可能
・表面粗さの評価が可能（Rms = 5nm 以下）
・非破壊で分析が可能
・約10×20mm の広い範囲の平均情報を得ることが可能

基本情報

●適用例
・薄膜の膜密度評価・膜厚評価
（Si酸化膜・Low-k膜・磁性材料・金属膜・有機EL・非晶質膜などの膜密度・膜厚評価）
・積層膜の膜密度評価
・界面層の密度評価・膜厚評価

価格帯 詳しくはお問い合わせください。
納期 1ヶ月以内
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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種：試験・分析・測定  所在地：東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

製品開発・品質管理を強力サポートする、受託分析サービス。 公正中立な第三者機関として、最先端の科学技術の発展に貢献します。

エレクトロニクス分野・マテリアル分野・ライフサイエンス分野などの製品・材料・素材の分析を、100種以上の分析手法を取り揃えて承っております。
お客様の「なぜ？」「困った…」「どうなってる？」に分析データ・解析結果でお応えします。

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