信頼性を高めたいの製品一覧
[SIMS]二次イオン質量分析法
財団法人材料科学技術振興財団
イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。
[XRR]X線反射率法
X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。
[EMS]エミッション顕微鏡法
半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。
[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法
TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。
[HAXPES]硬X線光電子分光法
XPS(X線光電子分光)の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。
[XRF]蛍光X線分析法
照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。
有機ふっ素化合物(PFOS・PFOA等)の分析
製品中・排水・環境水の分析に対応可能です
3軸円筒座標型クリーンロボット
PHT株式会社
ガラス基板対応
3軸クリーンロボット
3軸 伸縮・旋回・上下 3軸クリーンロボット
キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501
次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…
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