信頼性を高めたいの製品一覧

[HAXPES]硬X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

XPS(X線光電子分光)の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。

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[XRF]蛍光X線分析法

財団法人材料科学技術振興財団

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。

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有機ふっ素化合物(PFOS・PFOA等)の分析

財団法人材料科学技術振興財団

製品中・排水・環境水の分析に対応可能です

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3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社

ガラス基板対応

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3軸クリーンロボット

PHT株式会社

3軸 伸縮・旋回・上下 3軸クリーンロボット

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キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…

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SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…

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石英向けフッ素樹脂コーティング・ライニング

日本フッソ工業株式会社

「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします!」

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電子材料向け高純度焼付ライニング

日本フッソ工業株式会社

「高純度フォトレジスト液製造設備関連の課題は日本フッソ工業にお任せください!」

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交換式ゴムコレット(交換式ラバーチップ)

有限会社オルテコーポレーション

3つの形状から選べる、半導体チップの持ち帰りエラーがほぼ「ゼロ」になるまで改善

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