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[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年02月11日

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。
ACOM(Automated Crystal Orientation Mapping)-TEM法とも呼ばれます。

• 結晶粒径解析が可能
• 測定領域の配向測定が可能
• 双晶粒界(対応粒界)の観察が可能
• 特定結晶方位の抽出が可能
• 隣接結晶粒の回転角の測定が可能
• 数nm以上の結晶粒を評価可能

基本情報

<適用例>
• 多結晶薄膜の結晶粒径評価
• アモルファス中に存在する結晶の粒径評価
• 結晶配向性評価

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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種:試験・分析・測定  所在地:東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

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エレクトロニクス分野・マテリアル分野・ライフサイエンス分野などの製品・材料・素材の分析を、100種以上の分析手法を取り揃えて承っております。
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