半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

Primo Nanova

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置

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Primo TSV

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

高性能、高生産性のディープシリコンエッチング製品

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Primo HD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。

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Primo iDEA

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

チップエッチングとフォトレジスト除去のための革新的な統合ソリューションを提供する。デュアル反応プラットフォームエッチングおよび接着剤除…

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Primo SSC AD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

シングルリアクションスタンド誘電体エッチング製品。1つのプラットフォームに6つのシングルリアクションスタンドを統合することにより、生産能…

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Primo AD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

40~7nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

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Primo D-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

6~16nmのチップ製造に革新的なエッチングソリューションを提供する

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MBMW-101(IMS Nanofabrication GmbH製品)

日本電子株式会社

マルチビーム電子線描画装置

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「ABICS E120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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「ACTIS A150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

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マニュアルプローバー α200CS

株式会社アポロウエーブ

-60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定対応モデル

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セミオートプローバー AP-200

株式会社アポロウエーブ

-60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定 20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応

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マニュアルプローバー α100

株式会社アポロウエーブ

4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバです。

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原子拡散接合タイプ常温接合装置

株式会社ムサシノエンジニアリング

基礎研究の用途から量産まで、幅広い用途での装置設計が可能

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表面活性化接合タイプ常温接合装置

株式会社ムサシノエンジニアリング

基礎研究の用途から量産まで、幅広い用途での装置設計が可能

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EMC試験

株式会社デンケン

サンプルのお預かりやお客様お立合いでの試験の他、場所のみの貸出しや、リモートで試験状況の確認などができるバーチャルテストサービスもご提…

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画像処理ライブラリDarwin Vision Library

エイチエスティ・ビジョン株式会社

エイチエスティ・ビジョンの独自のノウハウを集約した画像処理ライブラリ

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濾過精工㈱ 精密濾過装置

ユアサネオテック株式会社

精密機械用クーラントの循環使用を飛躍的に長寿化し、 加工精度・生産効率の向上と、廃棄コストの低減を実現。

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㈱KMC 金型IoTソリューション

ユアサネオテック株式会社

金型情報の一元管理

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原子拡散接合装置 BC7000(SEMICON Japan 2020 Virtual出展:新製品)

キヤノンアネルバ株式会社

常温接合で未来を拓く!

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イオンミリング装置 ArBlade 5000(SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)

株式会社日立ハイテク

日立イオンミリング装置の最上位機種。 ついにクラス最速の断面ミリングレート を達成しました。

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WL-Exceed(SEMICON Japan 2020Virtual出展)

株式会社シバソク

全く新しいアーキテクチャを開発し、次世代を見据えた革新的なテスタ

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圧力制御用バルブPCAシリーズ

株式会社キッツエスシーティー

独自機構による封止方式を採用した、封止・スロー排気・調圧が1台で可能な高耐久APCバタフライバルブ

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ALDプロセス用バルブ「TDFシリーズ」

株式会社キッツエスシーティー

TDFシリーズは、ALD(原子層堆積)プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた、高純度ガス対応のバルブです。

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角型真空ゲートバルブ UXG/LG

株式会社キッツエスシーティー

高温、高い均熱性能を特長としたバルブ

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