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［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法

財団法人材料科学技術振興財団

電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。

［Slice&View］三次元SEM観察法

財団法人材料科学技術振興財団

FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工(Slice）とSEMによる観察（View）を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な…

X線CT法

財団法人材料科学技術振興財団

試料にX線を照射することで、試料内部構造の二次元透過像を取得する分析手法です。

［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

財団法人材料科学技術振興財団

試料表面の構造解析を行う分析手法です。

［SIMS］二次イオン質量分析法

財団法人材料科学技術振興財団

イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。

［XRR］X線反射率法

財団法人材料科学技術振興財団

X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。

［EMS］エミッション顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。

［TEM ED-Map］TEM電子回折マッピング法

財団法人材料科学技術振興財団

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

［HAXPES］硬X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

XPS（X線光電子分光）の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。

［XRF］蛍光X線分析法

財団法人材料科学技術振興財団

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。