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［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法

財団法人材料科学技術振興財団

電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。

［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

財団法人材料科学技術振興財団

試料表面の構造解析を行う分析手法です。

［SEM］走査電子顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。

［XPS］X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関す…

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。

［OBIRCH］光ビーム加熱抵抗変動法

財団法人材料科学技術振興財団

光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。

［EMS］エミッション顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。

［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法

財団法人材料科学技術振興財団

分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や定性分析を行う手法です。

［ED］電子回折法

財団法人材料科学技術振興財団

電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。

［HAXPES］硬X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

XPS（X線光電子分光）の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。