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［XPS］X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関す…

［XRR］X線反射率法

財団法人材料科学技術振興財団

X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。

［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。

［OBIRCH］光ビーム加熱抵抗変動法

財団法人材料科学技術振興財団

光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。

［EMS］エミッション顕微鏡法

財団法人材料科学技術振興財団

半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。

［ED］電子回折法

財団法人材料科学技術振興財団

電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。

［TEM ED-Map］TEM電子回折マッピング法

財団法人材料科学技術振興財団

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

［EPMA］電子プローブマイクロアナライザー

財団法人材料科学技術振興財団

真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得る手法です。

［HAXPES］硬X線光電子分光法

財団法人材料科学技術振興財団

XPS（X線光電子分光）の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。

［XRF］蛍光X線分析法

財団法人材料科学技術振興財団

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。