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[EPMA]電子プローブマイクロアナライザー

財団法人材料科学技術振興財団
最終更新日: 2025年02月11日

真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得る手法です。

特性X線を波長分散型検出器(WDX:Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer)を用い分析することで、エネルギー分散型検出器(EDX:Energy Dispersive X-ray Spectrometer)よりも、感度の高い測定が可能です。
軟X線発光分光法(SXES: Soft X-Ray Emission Spectroscopy)を用いることで、局所的な化学結合状態に関する情報も得られます。

基本情報

<適用例>
●WDX
・異物の組成分析
・面分析による元素分布の可視化
・%以下の微量不純物の定量分析

●SXES
・遷移金属の化学結合状態分析(価数評価)
・試料断面方向からの局所的な状態分析
・カーボン材料の結合状態変化(𝑠𝑝􀬶,𝑠𝑝􀬷)

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取扱企業

財団法人材料科学技術振興財団

業種:試験・分析・測定  所在地:東京都 世田谷区喜多見 1-18-6

製品開発・品質管理を強力サポートする、受託分析サービス。 公正中立な第三者機関として、最先端の科学技術の発展に貢献します。

エレクトロニクス分野・マテリアル分野・ライフサイエンス分野などの製品・材料・素材の分析を、100種以上の分析手法を取り揃えて承っております。
お客様の「なぜ?」「困った…」「どうなってる?」に分析データ・解析結果でお応えします。

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