CVDの製品一覧

SDP CVD

Jusun Engineering

プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置

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ALTUS

Lam Research

CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜する

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CENTURA ISPRINT ALD/CVD SSW

Applied Materials,Inc

金属コンタクト用高精度成膜装置

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CENTURA ULTIMA HDP-CVD

Applied Materials,Inc

数世代にわたって実用性が証明された、業界をリードするCVD装置

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Dragon XP8

ASM International NV

8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD

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VECTOR Family

Lam Research

高生産性と低コストを維持しながらも、幅広いプロセスアプリケーションに対応出来る柔軟性を持ったプラズマCVD装置

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Reliant Deposition

Lam Research

MEMS、パワーチップ、RFフィルタ、CMOSイメージセンサー等の新分野にも対応したプラズマCVD装置

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Centura DxZ CVD

Applied Materials,Inc

先進のMEMS、パワーデバイス、パッケージング市場での製造を支援する200mmウェーハ対応プラズマCVD装置

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A412 PLUS/A400

ASM International NV

A412:300mmウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置 A400:200mm以下ウェーハ対応高性能縦型拡散/CVD装置

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