CVDの製品一覧
AIX G5+C
Aixtron SE
150/200mm基板(Si/サファイア/SiC)上の先進GaNアプリケーション向け最新プラネタリーリアクターモジュール。生産性と性能を向上させています。
SDP CVD
Jusun Engineering
プラズマプロセス搭載したCVD/ALD装置
SD-CVD
CVD/ALD装置
ALTUS
Lam Research
CVD技術とALD技術を組み合わせることで、先進的なタングステンメタライゼーション用途の高度なコンフォーマル金属膜を成膜する
CENTURA ISPRINT ALD/CVD SSW
Applied Materials,Inc
金属コンタクト用高精度成膜装置
CENTURA ULTIMA HDP-CVD
数世代にわたって実用性が証明された、業界をリードするCVD装置
Dragon XP8
ASM International NV
8チャンバまで搭載可能な量産対応300mmウェーハプラズマCVD
VECTOR Family
高生産性と低コストを維持しながらも、幅広いプロセスアプリケーションに対応出来る柔軟性を持ったプラズマCVD装置
Reliant Deposition
MEMS、パワーチップ、RFフィルタ、CMOSイメージセンサー等の新分野にも対応したプラズマCVD装置
Centura DxZ CVD
先進のMEMS、パワーデバイス、パッケージング市場での製造を支援する200mmウェーハ対応プラズマCVD装置
関連用語
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株式会社 サムコ
当社は、半導体等電子部品製造装置の製造及び販売を行っております。当社は全半導体製造装置市場の数パーセント程度の市場ですが成長が期待でき…
JADE Bird Display
株式会社 九州セミコンダクターKAW
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