株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの製品一覧

SP2100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

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VM-2500/3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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LA-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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DT-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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裏面洗浄装置「SB-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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RF310A

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

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SK-60EX/80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

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SC-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

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WS-620C/ WS-820L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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FC-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最適な洗浄プロセスに応える進化形

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FC-821L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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CW2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

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CW1500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

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SU-3300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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SS3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SS-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能

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SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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SU3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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SS-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

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LT3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

レーザアニール装置。超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウェーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

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LA-3000-F

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ウルトラシャロージャンクション形成を可能に

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DW-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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DW-6000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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Purion XE

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高エネルギーイオン注入装置（Axcelis Technologies社製）

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Purion H

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

高電流イオン注入装置（Axelis Technlologies社製品）

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Purion M

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

中電流イオン注入装置（Axcelis Technolgies社製品）

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RE-3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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VM-1200/1300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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VM-1020

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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ZI-3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置

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ZI-2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求。パターン付きウェーハ外観検査装置

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株式会社 SCREENセミコンダクターソリューションズ


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