半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

SCREW MASTER MSD3-HF

武蔵エンジニアリング株式会社

大流量スクリューディスペンサー

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CMS-Ck

株式会社サーマプレシジョン

フルサイズパネル量産投影露光装置

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FDi-MP

株式会社オーク製作所

高性能ICパッケージ基板等の回路形成向け高性能ダイレクト露光装置

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常温ウェーハ接合装置BOND MEISTER

日本電産マシンツール株式会社

接合プロセスに新たな地平を開く 常温ウェーハ接合装置

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PPS-8200/8300

株式会社オーク製作所

WL-CSP,IGBT,CIS等の多様なアプリケーションに対応したリソグラフィシステム(6/8/12インチ対応)。

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SABRE-3D

Lam Research

定評あるラムリサーチのSABRE ElectrofillR 技術に加え、更なる技術革新をもって、WLPや TSV が必要とする高品質な膜と高い生産性を提供する。

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NOKOTA ECD

Applied Materials,Inc

高生産性ウェーハレベルパッケージ用めっき装置

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UFP600AS

株式会社荏原製作所

高スループット、高速めっきと優れた面内均一性の両立を実現しためっき装置

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EL3400

キヤノンアネルバ株式会社

高密度実装向けスパッタリング装置

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INPREX

株式会社アドテックエンジニアリング

世界の先進ユーザーが選び続けるダイレクト露光装置

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TFC6500

芝浦メカトロニクス株式会社

ハイエンド2.5Dパッケージ用フリップチップボンダ

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Sigma fxp PVD

SPST Technology

パワーデバイス、TSV,MEMSなどの形成に最適なスパッタリング装置

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PARAGON ULTRA 300

Orbotech

FC-BGA/FC-CSPやBGA/CSP基板向けDI装置

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Datacon 8800 FC Quantum hs

Be Semiconductor Industires

高速高精度フリップチップボンダ

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DI2800

株式会社日立ハイテク

2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能

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DI4200

株式会社日立ハイテク

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

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GALOIS(ガロワ)

レーザーテック株式会社

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

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SICA88

レーザーテック株式会社

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

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Surfscan SP7xp

KLA Corporation

先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置

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【実装精度±0.5μm】SET社 超高精度フリップチップボンダー

丸文株式会社

SET社は1975年の設立以来、半導体産業向けの様々な先進的な機器を開発、製造してきました。1981年以降フリップチップボンダーとナノインプリント…

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ISACRESEARCH iOV dX3

isacresearch

iOV dX3

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iOV dX1

isacresearch

小規模研究室に最適

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SENSE.I

Lam Research

高感度の新素材と複雑なアーキテクチャーの課題に対応する新装置

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FOUP/FOSB寸法測定装置

株式会社清和光学製作所

FOSB寸法測定装置 ”セルフィ―”発売

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