半導体用語集
ウォーキングビーム搬送装置
英語表記：walking beam transfer equipment
中央のレールと両側のレールを交互に昇降、搬送させ、少しずつレール上のウェハを前方へ移送する装置。現在はあまり使用されていない。
関連製品
「ウォーキングビーム搬送装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ウォーキングビーム搬送装置」に関連する用語が存在しません。
「ウォーキングビーム搬送装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
