半導体用語集

クリーンスーツ、防塵衣、無塵衣

英語表記:clean room suits, clean room wear, dust-protection clothes

 クリーンルーム作業員が着用する衣服。低発塵の布地(主に合成繊維)から作られており、それ自体も発塵しにくく、また、作業者の皮膚、衣服からの発塵をクリーンルームヘ出さないようになっている。ワンピース型とツーピース型などがある。また帯電によるごみなどの付着やデバイスの破壊などを防ぐため導電性素材が取り入れられているものもある。

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