半導体用語集
クリーンルーム内備品
英語表記：clean room fixtures
クリーンルームの清浄度を維持するために使用される用品。クリーンルームは微粒子を制御している特殊な空間である。クリーンルームの清浄度を維持するための四原則は、①ごみ（微粒子）をクリーンルームに持ち込まない、②ごみを発生させない、③ごみをためない、④出たごみは取り除くである。まず、クリーンルーム内での最大の発塵源は人であることから、人がクリーンルームに入室する際、クリーンスーツや防塵手袋、防塵マスクなどを身につけ、人および着衣からの発塵を最小限に抑える必要がある。また、通常使用している用具類はなんでもクリーンルーム内に持ち込めるわけではない。たとえば、紙に鉛筆で記入する際、紙の繊維と鉛筆の黒鉛のかすがクリーンルームではごみとなるので、クリーンルーム内では微粒子の発生を抑えるよう特殊な加工を施されたクリーンペーパが使用され、記入はボールペンのみと決められているのが一般的である。このようにクリーンルームで使用される備品は微粒子を発生させないように様々な加工を施したクリーンルーム専用用品である。さらに、発生したごみがクリーンルーム内に残ってしまった場合は取り除く必要がある。その際に、通常の清掃用具ではかえって汚染を拡大するおそれがあるので、ごみを効果的に取り除き、かつごみの発生源とならないクリーンルーム仕様の清掃用具が必要となる。以上、クリーンルーム内備品は清浄度を維持する四原則を考慮した微粒子の発塵を防ぐ用品もしくは発塵源とならない用品である。
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