半導体用語集
天井軌道走行型移送装置
英語表記：overhead track guided vehicle
天井に設置した軌道レールに沿ってウェハを搬送する装置。ウェハを天井部分の空間をぬうように搬送する。軌道レールは天井から吊り下げられることが多い。
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