半導体用語集
静電分級器
英語表記：electrostatic particle size analyzer
パーティクルを形成する物質が同じで、またその電荷数が等しい場合、パーティクルの電気移動度は、その粒径によってのみ定まることを利用して分級しようとするもの。二重円筒の内筒、外筒間に電圧をかけて直流電界を作り、内外円筒間に層流で流れるようにされた清浄空気（sheath air）と、荷電されたパーティクルからなるエアロゾルを流入させる。荷電されたパ ーティクルは、電界の影響を受けて内筒方向へ移動し、内筒下端に設けられたスリットに到達した時に取り出される。電気移動度は粒径によって定まるので、電圧を変化させることによって、その電圧に対応する粒径のパーティクルをスリットから取り出し分級することができる。
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