半導体用語集
Ptシリサイド
英語表記：platinum silicide
ケイ化白金。白金（Pt）とシリコンとの化合物（シリサイド）の総称。Pt₃Si、Pt₂Si、PtSiの相が知られているが、エネルギー的に最も安定な相はPtSiである。PtSiの特性として、融点：1,229℃、密度：12.39g/cm³、比抵抗は28∼35 µΩ･cm程度の値が報告されている。白金シリサイドは、白金とシリコンとのとのシリサイド反応を利用して形成される場合が多く、シリコン基板の拡散層とのコンタクト部分に自己整合的に形成し、低抵抗のオーミック電極として使用される例が多い。
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