半導体用語集
フィン型セル
英語表記：fin type cell
平板電極上に、別の平板電極が中央の柱上電極で固定された茸のような構造のセルキャパシタを持つ。平板型電極の表面だけでなく、裏面や柱状電極の表面もキャパシタの表面として利用できるので、表面積を増やせキャパシ夕容量を増やせる。さらに平行平板の間隔を狭くしてもキャパシタの形成が可能になることから、キャパシタ自体の高さを低く抑えることが可能になる。このため、表面を絶縁膜で平坦化しやすいといった利点や、周辺回路に深いコンタクトホールを設ける必要がないといった利点が生まれる。この構造は魚のヒレをイメージできることからフィン（ヒレ）型キャパシタと呼ばれる。
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