半導体用語集
多重フィン型セル
英語表記：multi-layer fin cell
フィン（平板電極）の枚数を2枚以上に増やして、キャパシタの表面積を増やすようにしたものを多重フィン型セルと呼ぶ。素子の微細化に伴い、狭い床面積に同じキャパシタ容量を実現するためには、平板電極（フィン）の枚数を増やす必要がある。一方、キャパシタの製造工程は、平板電極の枚数にほぼ比例して増加するので、平板の枚数を増やすと工程数の増加が問題になる。またセルの微細化に伴い、平板部の面積が小さくなる一方で、機械的な強度を維持するために、中央の柱状電極を余り細くできず、結果的に表面積の増大率が低下するという問題もある。このように製造工程が増加する一方で、面積の増大効率が減少し、またCMP技術などの平坦化技術の深いコンタクト形成技術の向上により、キャパシタの高さが低くできるというメリットも失われてきている。このため、64M以降は使用されなくなる傾向にある。
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