半導体用語集
レジストポンプ
英語表記：resist pump
ウェハ上に規定量のレジストを精密かつ安定して供給する機能の一部。空気圧やモータで制御されるポンプで、蛇腹型のべローズポンプと隔膜型のダイアフラムポンプが代表的である。インテリジェントポンプと呼ばれる高機能化されたポンプもあり、高精密化が図られたり、監視機能が施されていたりする。この中には二次流体駆動方式を用いたものもある。
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