半導体用語集
円筒型粗面セル
英語表記：cylinder rugged-surface cell
DRAMにおけるスタック型キャパシタ構造の一種。円筒型セルの蓄積電極の表面に細かい凹凸構造を形成して実効的なキャパシタ電極表面積を増大させ、蓄積容量を増大させたセル構造。
粗面構造の特徴、作成方法は、「凹型粗面セル」の項を参照。
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