半導体用語集
厚膜スタックセル
英語表記：box type cell
別名ボックス型、あるいはペデスタル型スタックセルとも呼ばれる。全面に形成された厚い導電体膜を、凸型にエッチング加工してキャパシタの蓄積電極が形成されることから、厚膜スタックセルの名前がある。蓄積電極の上面に加え側壁表面をキャパシタとして利用できるので、キャパシタ面積を増やすことができ、キャパシタ容量を増やすことができる。
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