半導体用語集
ロット管理
英語表記：lot control
半導体の生産は、ウェハ上に加工を施すことにより行われるが、工場内でプロセスステップの流れに沿って一緒に移動・加工されるウェハの集まりをロットと呼んでいる。このロット単位に作業指示や、工程管理、品質管理などを行う方法が一般的であり、これをロット管理といっている。一方、ウェハは搬送およびプロセス中キャリアと呼ばれる入れ物に保持される。1キャリアに保持できるウェハの数は25枚が一般的である。メモリやCPUのような多量に生産する品種は、25枚1ロットで生産されることが多い。ゲートアレイやマスクROMなどのカスタム対応の製品は1枚から25枚までかなりのバリエーションがある。枚数が少ない場合に、いくつかのロットを一つのキャリアに入れて同時に移動させることがあり、これをロット混載とか統合ロットとかいって特別な管理方式をとることもある。ロット管理のためには、ロット管理票と呼ばれる工程手順を書いたものが一般に使われている。ロット管理票には作業条件やストップ工程の指示が書き込まれることもある。また、最近のシステムではコンピュータ上にこの管理票の情報を持たせて、実際の管理票をなくすことが行われている。管理票からの発塵による歩留り低下や、工程変更の容易化に効果があるために、今後は一般化すると考えられる。ロットの識別は、キャリアについたバーコードや書き込みもできるIDタグにより行われる。バーコードの場合は、コンピュータ上にコードとロット番号の対応表を持っていて、ロットを認識している。
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