半導体用語集
FT-IR（フーリエ変換赤外分光法）
英語表記：Fourie Transform Infrared spectroscopy
分子は、固有の振動エネルギー準位 を有し、あるエネルギー準位からより高いエネルギー準位に振動励起する時、分子はそのエネルギー差に相当する振動数の光を吸収する。この振動数は赤外線の持つ振動数であるため、この赤外吸収のスペクトルを利用した分光法を赤外分光法と呼ぶ。分子が赤外線を吸収する機構は、赤外線の振動電場と分子振動との相互作用であり、振動によって分子の双極子モーメントが変化する時のみ遷移が生じる。このような赤外吸収は、ほとんどの分子において起こるために、赤外分光によって種々の分子の振動の解析を行うことができる。赤外分光装置は、赤外光を発生する光源部、赤外光を各単色光成分に分光する分光部、分子を透過した光を検出する検出部などから構成されている。この分光部においては、干渉分光計が用いられている。通常、黒体輻射に近いスペクトル分布を持つ炭化ケイ素を焼結したグローパ光源などから放出された赤外光を干渉計に入射し、その出力の干渉縞（インタフェログラム）をコンピュータ処理して分光する。干渉縞からスペクトルへの変換にフーリエ変換という数学的操作によって行われるために、フーリエ変換赤外分光（FT-IR）と呼ぶ。FT-IRは、レーザ光を干渉計の制御に使用しているので波数精度に優れており、さらに一度に全波数スキャンを高速で行うことができるために、積算による高精度分光が可能である。高速走査型のマイケルソン干渉計、高性能コンピュータおよび高速フーリエ変換アルゴリズムの開発によりプラズマ中の分子の高感度測定、高分解能測定、状態の変化する分子の実時間時間分解測定が可能になっている。
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