半導体用語集
ロードロック室
英語表記：load lock room
ウェハを搬送する処理室を大気中に開放しないで真空、またはN₂などの不活性ガス雰囲気にする処理室。処理室の前後、またはどちらか一方にゲートバルブあるいはパスボックスを配置して、処理室の雰囲気中の酸素濃度や水分濃度を非常に低いレベルで一定に保つことを可能とする。
主に、ゲート酸化膜の薄膜制御性の向上などの微細加工に伴う高度なプロセス処理を必要とする工程装置で使用されている。
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ディスプレイ製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 貼り合わせ／ギャップ形成 › スペーサ散布
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ESR型は、ロードロック室・SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能・通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー効果・省設置面積・軽量化を達成した独立設置対応用ルーツ形ドライ真空ポンプです。
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