半導体用語集
ロードロック室
英語表記：load lock room
ウェハを搬送する処理室を大気中に開放しないで真空、またはN₂などの不活性ガス雰囲気にする処理室。処理室の前後、またはどちらか一方にゲートバルブあるいはパスボックスを配置して、処理室の雰囲気中の酸素濃度や水分濃度を非常に低いレベルで一定に保つことを可能とする。
主に、ゲート酸化膜の薄膜制御性の向上などの微細加工に伴う高度なプロセス処理を必要とする工程装置で使用されている。
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