半導体用語集
テクノロジードライバ
英語表記：technology driver
従来、DRAMが半導体製造におけるテクノロジードライバであるとみなされてきた。大容量化を実現するため、DRAMは、最先端の微細化技術を必要としてきたことが主要因である。半導体メーカーにとって、DRAMの製造は、単一事業としての重要性だけでなく、DRAM以外のあらゆる半導体デバイスに応用可能な量産技術を確立するという意味でも、DRAM製造は重要な役割を担ってきた。インテルのような世界に名立たる MPUメーカーに対しても、日系DRAMメーカーのプロセス技術は先行していた。
しかし、最近、テクノロジードライバとしての位置づけは、DRAMからMPUに代表されるロジックICに取って代わられつつある。先端テクノロジーが、露光工程を中心とする単なる微細化に留まらなくなってきていることが要因である。具体的には、最先端のロジック製品でも、DRAMと同等以上の微細化技術が必要となってきた。また、多層化のニーズはMPUなどロジック製品において、DRAMより高かったこともあり、多層化に関連する技術はロジックメーカーで成熟するケースが増えてきている。CMP技術は、インテル、IBMなどロジック半導体メーカーが育てたプロセス技術の典型的な例であろう。
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