半導体用語集
電気
英語表記：electricity
半導体製造装置および周辺機器類は電気が供給されていないと稼動しない。さらに、電気はあらゆる設備（空調設備、純水製造設備、ガス供給骰備、中央監視設備など）の基となっている。したがって、電気は半導体製造工場にとってのライフラインであり、安定的に供給されていなければならない。さらに瞬時停電時や停電時の損害を最小限に抑えるために、保安設備用の無停電電源装置や自家発電設備も用意する必要がある。
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