半導体用語集
搬送装置
英語表記：transfer equipment
ベアウェハの投入から膨大な工程数、歳月を経て半導体（超LSI）は製品化される。その間ウェハは多数の製造装置間を移動し、その移動距離は10km以上に及ぶといわれている。したがって、このウェハを最大の発塵源である人が搬送する場合、微粒子をはじめとする様々な汚染が心配される他、一度に搬送できるウェハが限られるので、できるだけ機械にてウェハ搬送するのが望ましい。搬送装置は工程間、工程内、製造装置内など用途に応じて多種多様な装置が製品化されている。
関連製品
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クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 搬送／ハンドリング装置 › EFEM／ソータ
ウェーハ搬送装置
PHT株式会社
キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 搬送／ハンドリング装置 › 工程間／装置間搬送装置
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