SMIF（standard mechanical interface） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：standard mechanical interface

　製造装置間のインタフェースを統一する規格の一種。この規格にそったインタフェース機能を持った密閉型ウェハキャリアボックス（スミフボックス）を意味するときもある。