品質管理（Quality Control (QC), quality management） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

半導体用語集

品質管理

英語表記：Quality Control (QC), quality management

　JIS Z 8101では「買手の要求に合った品質の品物またはサービスを経済的に作り出すための手段の体系。品質管理を略してQCということがある。また、近代的な品質管理は、統計的な手段を採用しているので、特に統計的品質管理（Statistical Quality Control、略してSQC）ということがある」と定義されている。
　品質管理の歴史は、1920年代のアメリカにおいて、大量生産の時代を背景に始まった。シューハート（W. A. Shewhart）が、統計学を応用して工程の安定を図る管理図を提唱し、統計的品質管理が始まったのである。第二次世界大戦になると、品質管理は、軍需品の品質安定を図る必要性から、アメリカ軍により広められた。日本では、1950年代にデミング（W. E. Deming）、ジュラン（J. M. Juran）によりアメリカの品質管理が紹介され、広く普及していった。その後、日本の品質管理は、総合的品質管理（TQC）として日本独自の発展を遂げ、現在に至っている。また、1987年に品質保証の国際規格であるISO 9000シリーズが制定され、日本でもJISに取り入れられたことにより、近年ではISO 9000シリーズの品質システムが品質管理の基本形として定着している。
　このように品質管理は、元は安定した品質の製品を製造するための技法（Quality Control）であったが、現在では経営のための管理技術（quality management）としてとらえられるようになっている。優れた経営品質を持つ企業を表彰するため、アメリカのマルコム・ボルドリッジ国家品質賞にならい、1995年に㈶社会経済生産性本部により創設された日本経営品質賞では、NECの半導体事業グループが第1回の受賞企業であり、半導体産業における品質管理の重要性を示している。
　ところで、LSIの製造における品質管理として、統計的品質管理は有効な管理技術であり、安定した品質を作り込むために、寸法、膜厚、パーティクルなどの製造工程の主要なパラメータを、チェックシート、グラフ、管理図などで管理し、製造工程の能力を工程能力指数で評価することが行われている。また、工程改善のため、QC七つ道具、実験計画法、多変量解析などが用いられることもある。これらの管理は、顧客からも、SPC（Statistical Process Control）として要求されることが多い。

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