石英（quarts glass） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

半導体用語集

石英

英語表記：quarts glass

　ケイ素と酸素の化合物（SiO₂）だけからなるガラス。製造方法の違いで溶融石英と合成石英に分類できる。ともに金属不純物が少なく数ppm～ppbオーダであり、線膨張係数が窓板ガラスにくらべ、5～8×10⁻⁷/℃と窓板ガラスの20分の1で、耐熱性（軟化点：1,650℃）に優れているという特徴がある。
　溶融石英は原料に天然水晶、石英、ケイ石、ケイ砂などを使っているため、製造コストが比較的安く、多くの半導体製造プロセスで使用されている。特に、拡散、CVD（Chemical Vapor Deposition）などの半導体基板を高温で処理し、しかも不純物を極端に嫌うプロセスでは不可欠な材料であり、炉芯管、ボート、キャップ、受け皿、ベルジャなどの熱処理用治具に多く使われている。近年半導体製品の高集積化に伴い、使用する部材に求められる不純物レベルも一層厳しくなってきており、原料の精製技術の向上が進められている。またSi結晶の引き上げ炉のるつぼ材としても使用されている。酸、アルカリに溶け難いことから、ウェットエッチング用処理槽にも用いられている。
　合成石英ガラスは化学的に合成した不純物の少ない材料を使用したものである。製法の違いから、光学的な均質性が溶融石英にくらべ高いために、従来からレンズやプリズムなどの光学部品用材料として広く使用されている。

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