走査型電子顕微鏡（scanning electron microscope） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：scanning electron microscope

直径数nmの電子ビームが、系統的に試料の表面を掃引し、ビームと試料の相互作用により、生ずる二次電子や反射電子の強度を一次ビーム走査と同期して記録する電子顕微鏡。