半導体用語集
製造設備
英語表記：production system and equipment
半導体デバイスの技術革新は、それを支える製造設備の存在が不可欠であることはいうまでもない。歴史的にみても半導体産業はそれを支える周辺産業、 とりわけ製造設備産業と表裏一体となってきたのは明白な事実である。
このように重要な位置づけにある半導体製造設備をカテゴリ別に説明する。
(1)単結晶製造設備
半導体製造の主要材料となるSiインゴットを製造・スライス・研磨する設備であり、これら設備でSiウェハが製造される。
(2)CAD・回路設計設備
複雑なLSI回路を設計するシステムであり、主として大規模コンピュータより構成されている。短時間での設計が必須であり、設計した回路の自動検証も行う。
(3)マスク・レチクル製造設備
LSIの原版となるパターンを有するマスク・レチクルを製造する設備である。マスク・レチクルの誤差がそのまま次工程に影響するため、無欠陥であること、配置精度・寸法精度の優れることが重要となる。
(4)前工程設備
マスク・レチクルを使いSiウェハにLSIを形成する設備である。パターンの露光・エッチング・不純物の拡散・成膜工程など様々なプロセス設備がある。半導体設備の中核をなしており、最近では複数のプロセスが統合化されたクラスタシステムも開発されている。
(5)後工程設備
Siウェハに形成されたLSIパターンを一つずつのチップに分離・組み立て、その後電気的試験を行う設備である。
半導体設備は一種の総合技術的な製品であり、単なる機械というイメージのものではない。機械設計技術・メカトロニクス技術・エレクトロニクス技術・コンピュータ技術は無論のこと、真空技術・光学技術・化学反応工学・基礎物性工学というような多くのサイエンスの総合産物である。したがって、その開発に際しては広い分野の技術協力が必要になる。さらに設備メーカーは、単に設備を作ってユーザーに提供するだけではなく、それをどのように使い保守するかというプロセスエンジニアリング的な対応も必要となる。特にギガビット時代を迎える現在ではプロセスの重要性がきわめて大きい。どのようなプロセスを行うのかというスタンスからの設備開発が必要になっている。
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