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- 厚膜・その他レジスト
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- エッチングガス
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- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
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- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
電子材料向け高純度焼付ライニング
「高純度フォトレジスト液製造設備関連の課題は日本フッソ工業にお任せください！」
日本フッソ工業株式会社はレジスト液製造用のタンク、撹拌機、バルブなどにフッ素樹脂コーティング・ライニングをしています。
フォトレジスト液製造設備へのライニングに20年以上の豊富な施工実績を有しており、ArF、KrF、EUV向けの製造用設備の金属イオン溶出防止、腐食防止、洗浄性向上など、様々な用途で弊社のライニングが採用されています。
ライニングに適した機器製作のサポートも充実していますので、フォトレジスト液製造関連でお悩みの方は、ぜひご相談ください。
基本情報
フォトレジスト液製造設備にフッ素樹脂ライニングをすると以下のようなメリットが期待されます。
１．高純度性向上：金属イオンの溶出を防ぎ高純度性の向上が期待されます。
２．液切れ性向上：撥水性が高いことから、製品および洗浄液の残留が少なくなり、品質向上、生産コスト削減が期待されます。
３．耐薬品性：薬液から基材の腐食を守り、基材の寿命延長が期待されます。
４．摩耗粉混入防止：弊社のノンメタルPEC仕様を選定することで、撹拌機の軸封部から発生する摩耗粉の混入防止が期待されます。
その他に帯電防止仕様があり、絶縁皮膜であるフッ素樹脂の漏洩抵抗値を下げ、攪拌の際に発生する静電気を体積方向に逃がし、静電気による爆発、皮膜及び機器の損傷防止効果が期待されます。
カタログ
取扱企業
日本フッソ工業株式会社
業種：樹脂・プラスチック 所在地：大阪府 堺市美原区木材通 2-4-6
フッ素樹脂コーティング技術で課題解決
フッ素樹脂はユニークな特長を有する樹脂として広く知られる存在となっており、当業界においても採用事例は多くあります。
耐食性や撥水性、帯電防止性能に加え、高純度性が必須とされることが多いこの業界において、当社はコーティング技術により、様々な基材にフッ素樹脂の特性を付与することで課題を解決しています。
フッ素樹脂成型品では対応不可能な環境で是非、ご検討ください。
電子材料向け高純度焼付ライニング へのお問い合わせ
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