半導体用語集
スループット
英語表記：throughput
スループットとは、半導体製造ラインまたは製造装置の単位時間あたりの処理能力を意味する。一般的には、単位時間あたりのウェハの処理能力によって表わすことが多い。半導体量産ラインにおいて、通常、最も高価な装置の一つである露光装置などの待ち時間を最小化させるために、露光装置のスループットに合わせて、他の製造装置の設置台数が決められることが多い。したがって、半導体生産ラインのスループットは、露光装置の処理能力（スループット）によって把握することが可能である。
露光装置そのものの処理能力の他に、半導体を製造に必要な設計パターン（回路図）の数量（マスク枚数）も、ラインのスループットを左右する重要な要素となる。露光装置は、マスク交換の間は、露光作業を行えないことが要因である。最近、スループットを維持するために、従来型のステッパ方式の露光装置に加えて、スキャン方式が量産ラインで導入されつつある。
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