カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
AD3000T-PLUS
12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン
当社コアを駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により優れたCoO(Cost of Ownership)を実現します
・オプションユニットの小型化、内部最適設計により主要オプションユニットの内蔵が可能
・最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
（オプションで8万回転仕様対応可）
・ハイスループット
①X軸速度1,000mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
②光学式カッタセット部 2個搭載
・17インチタッチパネル式液晶モニタ＋新GUI
GUI（グラフィカル・ユーザ・インターフェース）を搭載し、見やすい画面構成と大型 ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
・イージーメンテナンス
・フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
基本情報
最大ワークサイズ Φ305mm
最大対応ワーク 12インチ
スピンドル
回転数 60,000mm-1/80000mm-1(オプション）
最大ブレード径 Φ60mm（2インチ）、Φ80mm（3インチ）
最大定格 1.8kw
X軸
切削可能範囲 310mm
最高速度 1000mm/s
Y1/Y2軸
切削可能範囲 310mm
最高速度 300mm/s
制御分解能 0.078μm
累積精度 0.002mm/310mm
Z1/Z2軸
ストローク 35mm
分解能 0.002μm
最高速度 80mm/sec
繰り返し精度 0.001mm
Θ軸
回転範囲 380°
電圧 三相AC200～220V±10％
消費電力 6.0kVa
エア供給圧力 0.55～0.7MPa
クリーンエア平均消費量 140L/min
供給水圧力 0.3～0.5MPa
装置寸法 1290mm×1530mm×1900mm
装置質量 1360kg
カタログ
取扱企業
株式会社東京精密
業種：繊維 所在地：東京都 八王子市石川町 2968-2
最先端の精密測定技術と精密加工技術で半導体業界に貢献
半導体製造装置分野では、ダイシング装置、バックグラインディング装置、ウェーハプロセス装置などを国内外の半導体製造装置企業に提供している。自社で培ってきたコア・テクノロジーを基盤に、共通の目的を持つパートナーとの密接な関係を構築することで、世界最先端の技術と開発をスピードアップし世界 No.1の製品開発体制を構築する。
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AD3000T-PLUS
