半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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ENTRON N300

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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ENTRON-EX2 W300

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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Segul

GaNスパッタリングモジュール

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IH-860DSIC

SiC用高温イオン注入装置

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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置　uGmni-200, 300

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

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FlexAL（Oxford Instruments社製）

リモートプラズマ原子層堆積（ALD）プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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PlasmaPro100ALE（Oxford Instruments社製）

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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Atomfab（Oxford Instruments社製）

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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LR/HR/UR シリーズ

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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CRシリーズVerB

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

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PFSシリーズ

SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

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SOPHI-200/260

最新技術を搭載した8、6、5インチのイオン注入装置

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IH-860DSIC

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

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IMX-3500

研究開発用中電流イオン注入装置

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SOPHI-400

Max2400KeVまで対応可能な高エネルギーのイオン注入装置

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SOPHI-30

低加速・高濃度対応のイオン注入装置（中電流イオン注入装置）

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RISE-300

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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ULHITETM NE-7800H

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料（強誘電体、貴金属、磁性膜等）のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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NLD-5700

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

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NLD-570

研究開発向けNLDドライエッチング装置

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NE-5700/NE-7800

量産用ドライエッチング装置

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APIOS NE-950EX

LED向け量産専用ドライエッチング装置

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NE-550EX

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

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CE-L

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

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Luminous NAシリーズ

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーの…

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CC-200/400

ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。

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CME-200/400

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

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CMDシリーズ

CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。

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CS-L

　実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…

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CS-200

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

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ACS-4000

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。

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SME-200

プロセス室を複数搭載可能（最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200）なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

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ULDiSシリーズ

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモードの技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。米国JDS…

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SXシリーズ

　バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

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SVシリーズ

バッチ式スパッタリング装置

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SRHシリーズ

裏面・実装用スパッタリング装置

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MLX-3000N

マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX-3000Nは、各プロセスニーズにフレキシブルに対応し、ハイコストパフォーマンスを達成した半導体向け成膜…

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UTM300

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

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UTM70B

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

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UTM-FH/FWシリーズ

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…

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マイクロLED用ボンダー TFC-6000M

マイクロLEDをバックプレーンへ実装するボンダーです。

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EPIREVO S8

株式会社ニューフレアテクノロジー

200㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置

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NPI-8000

株式会社ニューフレアテクノロジー

最先端マスク検査装置

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MBM-3000

株式会社ニューフレアテクノロジー

2nmノード対応最先端マルチビームマスク描画装置

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BC7300

原子拡散（ADB）接合装置

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カスタムIC（アナログASIC）開発サービス

内藤電誠工業株式会社

カスタムICの開発は、当社にお任せ下さい！経験豊富なエンジニアが、お客様のご要求を「かたち」にします

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受託製造(製造委託)サービス

株式会社大浩

精密装置の製造委託なら、『一括受託製造の大浩』にお任せください。生産管理以下、設計、部材調達、装置組立から最終調整、出荷に至る全ての…

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EL3400

高密度実装向けスパッタリング装置

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TFC6500

ハイエンド2.5Dパッケージ用フリップチップボンダ

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GALOIS（ガロワ）

GaNウェハの各種欠陥をより高速に検出し、高い解像度で欠陥の観察が可能

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SICA88

富士通セミコンダクターメモリソリューション株式会社

コンフォーカルDIC光学系による表面検査とPL検査を1台に搭載

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半導体コンサルティング、技術者教育

サクセスインターナショナル株式会社

サクセスインターナショナル社は半導体を中核とし、電気電子全般にわたる設計/開発/製造/品質管理の技術課題と経営に関わる諸問題のコ…

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FAM48BAW／SPAW

スピードファム株式会社

汎用片面研磨装置

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SM20B-5P-4D

スピードファム株式会社

300mm／200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置

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DSM28B-5L-4D

スピードファム株式会社

300mm ウェーハ向け両面ラップ装置

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MB85R8M2TA

100兆回の書き込みを保証する8MビットFRAM

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IMX480

ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社

2/3型（対角11.0mm）有効約813万画素UV波長域対応CMOSイメージセンサ

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チラーシリーズ

伸和コントロールズ株式会社

お客様のニ－ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内熱交換部の開発もご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提…

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IC7500

主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置

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FC7100

当社独自のスパッタリング技術によるダメージレス・メタルゲート量産用のφ300mm対応クラスター式スパッタリング装置

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「ABICS E120」

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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「ACTIS A150」

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

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CXP・CXCシリーズ水晶デバイス用ソケット

エム・アイ・エステクノロジー株式会社

周波数測定、特性評価用に設計されており、1,300種類以上の豊富な品揃えで業界最大級

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原子拡散接合装置 BC7000（SEMICON Japan 2020 Virtual出展：新製品）

常温接合で未来を拓く!

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PMR-3000

日本セミラボ株式会社

非破壊インプラモニター

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生産設備管理ツール「キノシステム」

リアルタイムでデータを収集、装置の状態を見える化して生産性UP。機器1台から始められる予知保全のための生産設備管理ツール「キノシステム」…

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8インチ対応洗浄装置

様々な要求に対応可能な装置

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ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」