シリコン基板
英語表記：silicon substrate
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ビームエネルギー
英語表記：beam energy
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ビームコントロール
英語表記：beam control
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ビームドリフト
英語表記：positioning drift
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ビームフィルタ
英語表記：beam filter
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ビームポジショナ
英語表記：beam positioner
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ビーム安定性
英語表記：beam stability
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ビーム位置決め精度
英語表記：beam positioning
accuracy
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ビーム径
英語表記：beam diameter
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ビーム収束系
英語表記：beam focusing system
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ビーム寸法精度
英語表記：beam Size accuracy
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ビーム電流量 イオン電流量
英語表記：beam current
ion current
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ビアファースト
英語表記：via first
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ビットエラーレートテスト
英語表記：bit error rate test
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ビデオ信号測定機能
英語表記：vodeo signal
measurement
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ビトリファイド研削といし
英語表記：vitrified grinding wheel
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ビルディングブロック
英語表記：building block
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ビルドアップ基板
英語表記：build up PCB
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ビルドアップ基板
英語表記：build-up substrate
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微細構造内洗浄
英語表記：cleaning of fine patterned surface
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微細配線基板
英語表記：fine pitch printed circuit board, fine pitch substrate
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微振動対策設備
英語表記：anti-vibration device
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微分型電気移動度分析器 DMA 静電式エアロゾル分級器
英語表記：differential mobility
analyzer
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微粉
英語表記：powder macro grits
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微粒子 パーティクル
英語表記：particulatesmall particleparticle
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微粒子衝撃
英語表記：particle scrubbing
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微粒子数
英語表記：number of particles
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微量イオン
英語表記：trace level ion
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描画ソフト
英語表記：control software of e-beam writer
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描画方式
英語表記：exposure strategy
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描画領域
英語表記：main field area
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