半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

ドライヤ評価試験疑似コンプレッサオイルアップ測定装置

大村技研株式会社

カスタマ試験装置

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HHBT試験装置

大村技研株式会社

恒温恒湿バーンイン装置

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3槽式BT試験装置 BST-6224BT装置

大村技研株式会社

バーンイン装置

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半導体材料の溶出試験

株式会社住化分析センター

『半導体材料の清浄度評価のための溶出試験』

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SAion

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

中電流・高電流の両技術を融合した、All-in-One型イオン注入装置

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SS-UHE

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

S-UHEから生産性を向上させた高エネルギーイオン注入装置

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S-UHE

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

高エネルギーイオン注入装置のグローバルスタンダード

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MC3-Ⅱ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

最新鋭・高性能の中電流イオン注入装置

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SHX-Ⅲ

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

極低エネルギーイオン注入を可能にした高電流イオン注入装置

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NV-GSDⅢ-180

住友重機械イオンテクノロジー株式会社

多様なアプリケーションに対応可能な、後段加速付高電流イオン注入装置の デファクトスタンダード

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Exceed400HY

日新イオン機器株式会社

パワーデバイス向け水素注入装置

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Exceed9600AH

日新イオン機器株式会社

高エネルギーイオン注入装置

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Exeed3000AHシリーズ

日新イオン機器株式会社

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置

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Purion-XE

Axcelis Technology

高エネルギーイオン注入装置の業界標準

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Purion-H

Axcelis Technology

多用途性、スループット、均一性を提供し、所有コストを抑制できる高電流イオン注入装置

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Purion Mシリーズ

Axcelis Technology

高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置

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Viista3000XP

Applied Materials,Inc

高エネルギーイオン注入措置

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ViiSTA900 3D

Applied Materials,Inc

2xnmノード以降の量産向け中電流イオン注入装置

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Viista900 XP

Applied Materials,Inc

高生産性中電流イオン注入装置

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ViiSTA HCP

Applied Materials,Inc

高生産性高電流イオン注入装置

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Viista Trident

Applied Materials,Inc

最先端プロセス向け高電流イオン注入装置

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F-REX型

株式会社荏原製作所

本装置はウェーハ表面を化学的機械的に研磨するクリーンルーム設置型のCMP装置です。市場で証明された高い信頼性と優れたプロセス性能を有する本…

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UFP型

株式会社荏原製作所

本装置は、半導体ウェーハにバンプ、再配線、ビア等の微細パターンを形成させるクリーンルーム設置型の電解めっき装置です。

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EAC型

株式会社荏原製作所

本装置は、半導体ウェーハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェーハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です…

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KLP-40DXFP

ミクロ技研株式会社

精密ラッピングマシン

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MGP808X

ミクロ技研株式会社

全自動CMP装置。ラップマスターSFT製「LGP-808XJ」の後継機種

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PNX332B

株式会社岡本工作機械製作所

300mmウェーハ対応ファイナルポリッシャーのベストセラー

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FAM48BAW/SPAW

スピードファム株式会社

汎用片面研磨装置

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SM20B-5P-4D

スピードファム株式会社

300mm/200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置

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DSM28B-5L-4D

スピードファム株式会社

300mm ウェーハ向け両面ラップ装置

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USP-32B

不二越機械工業株式会社

大型量産化対応300mmウェーハラッピング装置

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SPM23

不二越機械工業株式会社

大口径、量産化対応200mmウェーハ対応片面ポリシングマシン

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USP-32BP

不二越機械工業株式会社

300mmウェーハ対応両面ポリッシング装置

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EMP-300

不二越機械工業株式会社

高品質、量産型枚葉式自動片面ポリシングマシン

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EVGR320 D2W

EV Group

直接配置式ダイ・トゥ・ウェーハ(D2W)接合向け業界初の商用ハイブリッド接合用活性化・洗浄装置

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NEO HB

SET

量産用フリップチップボンダー(Cu/Cu、ハイブリッドボンディング対応)

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GT66A

ギガフォトン株式会社

さらなるテクノロジーの要求に応えるArF液浸露光光源

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G60K

ギガフォトン株式会社

従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源

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KABRA! Zen

株式会社ディスコ

SiCインゴットスライスを高速化、ウェーハ取り枚数を倍増

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メモリ・テスト・システム「T5835」

株式会社アドバンテスト

DRAMおよびNANDフラッシュの高速テストのスループット向上とテスト・コスト削減を可能にする

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メモリ・テスト・システム「T5221」

株式会社アドバンテスト

NANDフラッシュを含む不揮発性メモリIC向け、マルチ・プローバーに対応

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SoCテスト・システム V93000 EXA Scale

株式会社アドバンテスト

エクサスケール・コンピューティング時代の技術課題に応える最先端テスト・ソリューション

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メモリ・テスト・システム「H5620」

株式会社アドバンテスト

バーンインとメモリ・セル・テスト機能を兼ね備えた高生産性システム

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半導体製造向け精密チラー RJ-SA型

株式会社荏原製作所

小型かつ高出力で、サブファブスペースを効率的に利用可能なチラー

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湿式排ガス処理装置 G-WS型

株式会社荏原製作所

水溶性ガスを使用するプロセスに最適化された湿式排ガス処理装置

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CMP装置F-REX300XA

株式会社荏原製作所

荏原史上最高の生産性を実現した新型CMP装置

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VERTEXR Revolution/Ⅲ

Kokusai Electric株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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SP2100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

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VM-2500/3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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LA-3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端デバイスの特性改善に大きく貢献するフラッシュランプアニール装置

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DT-3000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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裏面洗浄装置「SB-3300」

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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ウェーハ外観検査装置INSPECTRAシリーズ

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社

半導体製造の前工程から後工程まで『ハイスピード』『ハイスペック』でウェーハの全数自動検査の要求にお応えします。

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RR493L300

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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ACE-EFEM

ローツェ株式会社

高速搬送が可能なEFEM

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RR493L180

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR492L400

ローツェ株式会社

2つのフロッグレッグアームを持つ真空ロボット

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RR481L300

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR751L13

ローツェ株式会社

全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット

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RR751L15

ローツェ株式会社

大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

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RR756L15

ローツェ株式会社

大気ロボット:高重量ハンドに対応

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RR757L15

ローツェ株式会社

大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル

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RR759L22

ローツェ株式会社

大気ロボット:FOPLPパネルにも対応

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RR759L27

ローツェ株式会社

大気ロボット:FOPLPパネルにも対応。ロングリーチ対応

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RR481L200

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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RR481L220

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボッ

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RR491L300

ローツェ株式会社

フロッグレッグアーム真空ロボット。シングルアームタイプ

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RR493L200

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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RR493L230

ローツェ株式会社

超高真空対応スカラアーム・ロボット

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金属イオン溶出の無い自動着脱装置(オートコネクタ)

ナブテスコサービス株式会社

金属イオンの溶出を嫌うラインでの、着脱作業を自動化します。 大きな偏芯量にも対応します。

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CUBE2500

Unisem Co,Ltd.

小型高精度チラー

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ThermoRack 1201/1801

Solid State Cooling

小型高性能ペルチェ式チラー

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Thermoelectric Chiller

Fine Semitech Corp.

ペルチェ方式高精度チラー

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高精度チラー

株式会社ミラプロ

市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため様々なタイプのチラーをご用意しております

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小型CHシリーズ

タイテック株式会社

日本の半導体工場を支える小型チラーの定番

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チラーシリーズ

伸和コントロールズ株式会社

お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内熱交換部の開発もご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提…

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ペルチェ式サーモコン HEC

SMC株式会社

熱源やプロセス流体の高精度温調が可能。

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HRZ-F

SMC株式会社

DCインバータ冷凍機とインバータポンプで大幅な省エネを実現。

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9000シリーズ

株式会社日立ハイテク

次世代デバイスプロセスに対応するため、コンダクターエッチング装置 9000シリーズでは、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した…

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M-8000シリーズ

株式会社日立ハイテク

コンダクターエッチング装置 M-8000シリーズは、32nm世代以降のハードマスク、シリコン加工に対応したエッチング装置です。

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E-600/8000シリーズ

株式会社日立ハイテク

不揮発性材料エッチング装置

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E-6000シリーズ

株式会社日立ハイテク

磁気ヘッド用材料エッチング装置

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CG6300

株式会社日立ハイテク

高分解能FEB測長装置(CD-SEM) CG6300 は、電子光学系を一新することにより分解能を高め、測長再現性および画質の向上を図りました。

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CG5000

株式会社日立ハイテク

1Xnm世代開発及び22nm世代量産プロセス対応測長SEM

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CV5000

株式会社日立ハイテク

最先端 デバイスパターンの深穴・溝底の回路線幅計測と、実デバイスパターン上でのオーバーレイ計測を可能とする高加速CD-SEM

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CR6300

株式会社日立ハイテク

高速ADR、高精度ADCにより、歩留まり改善に貢献するインライン対応欠陥レビューSEM

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Mirelis VM1000

株式会社日立ハイテク

SiCウェーハの結晶欠陥・加工ダメージの非破壊検査を実現したミラー電子式検査装置

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LSシリーズ

株式会社日立ハイテク

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは,パターンなし(鏡面)シリコンウェーハ上に存在する微小異物や欠陥を検査する装置です。

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ISシリーズ

株式会社日立ハイテク

暗視野式ウェーハ欠陥検査装置。プロセスで発生するパターンウエハ上の欠陥・異物を高感度・高速でモニタリングする事が可能です。

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M-600/6000シリーズ(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社日立ハイテク

コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズは、デジタルモバイル機器、白物家電製品、自動車、鉄道などに用いられるパワー半導体のシリコ…

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CS4800

株式会社日立ハイテク

4、6、8インチのウェーハサイズに対応した測長SEM

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CMXシリーズ

THK株式会社

画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージ

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A/AXシリーズ

THK株式会社

高精度でバリエーションが豊富 さまざまな用途に対応可能な精密ステージ データダウンロード

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サーフェイス型エアスライダステージ

株式会社モーショントラスト

超精密モデル(用途:半導体用小ストローク検査装置向け)

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SA/SL Series

住友重機械工業株式会社

露光・高精度検査装置用XYステージ

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CA-230

住友重機械工業株式会社

真空エアサーボステージ

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IC7500

キヤノンアネルバ株式会社

主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置

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【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)

ナブテスコサービス株式会社

【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。

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