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【近日リリース】半導体産業における極低温環境対応性能に特化して設計されたクイックコネクトカップリング

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ソリッドステートマイクロ波電源システム

東京計器株式会社

ソリッドステート特徴の周波数選択と長寿命と高信頼性を備えたマイクロ波電源。自社の実装技術によりon10s/off10s 150万回を実現！自社の技…

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スマートフロー　ドライブレイク・カップリング

冷却効率を向上・液だれのない大口径ドライブレイククイック・カップリング

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全面膜厚測定ユニット

株式会社ヒューテック

ウエハ全面の膜厚を高速測定可能な膜厚測定システム。秒間300,000ポイントをIn-Situ測定することで成膜条件や装置の異常を素早くフィードバック…

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［C-SAM］超音波顕微鏡法

試料の内部にある剥離などの欠陥を非破壊で観察する手法です。

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［UV-Vis］紫外可視分光法

波長ごとに分けた光を測定試料に照射し、試料を透過した光の強度を測定することで、試料の吸光度や透過率を求める手法です。

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［XRD］X線回折法

回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。

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［Slice&View］三次元SEM観察法

FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工(Slice）とSEMによる観察（View）を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な…

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X線CT法

試料にX線を照射することで、試料内部構造の二次元透過像を取得する分析手法です。

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［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う分析手法です。

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［SEM］走査電子顕微鏡法

電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。

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［SIMS］二次イオン質量分析法

イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。

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［XPS］X線光電子分光法

Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関す…

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［XRR］X線反射率法

X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。

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［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。

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［OBIRCH］光ビーム加熱抵抗変動法

光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。

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［EMS］エミッション顕微鏡法

半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。

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［ED］電子回折法

電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。

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［TEM ED-Map］TEM電子回折マッピング法

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

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［EPMA］電子プローブマイクロアナライザー

真空中で細く絞られた電子線を固体試料表面に照射し、発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得る手法です。

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［HAXPES］硬X線光電子分光法

XPS（X線光電子分光）の励起光に硬X線を用いた分析手法で、ダメージレスな界面の結合状態評価を行うことができます。

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［XRF］蛍光X線分析法

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。

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［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定する手法です。物質の構成元素や電子構造を分析することができます。

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［EBSD］電子後方散乱回折法

結晶性試料の方位解析ができる手法です。

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3軸円筒座標型クリーンロボット

ガラス基板対応

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3軸クリーンロボット

3軸伸縮・旋回・上下　3軸クリーンロボット

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キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…

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石英向けフッ素樹脂コーティング・ライニング

日本フッソ工業株式会社

「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします！」

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電子材料向け高純度焼付ライニング

日本フッソ工業株式会社

「高純度フォトレジスト液製造設備関連の課題は日本フッソ工業にお任せください！」

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知的財産分野　翻訳サービス（特許明細書/中間処理書類/訴訟書類）

株式会社サン・フレア

2000名以上の翻訳者！知財分野は言語のプロにお任せください！

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翻訳サービス、コンテンツ制作（マニュアル、WEBサイト、動画等）

株式会社サン・フレア

翻訳実績50年以上！半導体業界にめっぽう強い翻訳会社！

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交換式ゴムコレット（交換式ラバーチップ）

3つの形状から選べる、半導体チップの持ち帰りエラーがほぼ「ゼロ」になるまで改善

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搬送キャリア

チップ搬送用のトレイ

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移動コンテナ（タンク）からの粉体自動払出装置/ハンドル自動開閉器/ブリッジ除去機能付き

半導体材料や電池材料など、コンテナをコンベアやAMRなどで移動させた後、中身を自動で払い出せます。高所に人が登っての着脱作業が不要にな…

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膜付ウェーハ

株式会社豊港

豊港化学では、膜付ウェーハなどの製品を取扱しております。下記のURLをご参照ください。 URL：https://toyokou.jp/semiconductor/film-coate…

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ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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シリコンウェーハバッチ式自動洗浄装置

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

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EFEM・ソータ

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェーハを転送するウェハ自動搬送装置です。

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枚葉式石英ガラスウェーハ移載装置

キャリア間の石英ガラスウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送装置

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハカセットチェンジャー

キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置

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ウェーハ搬送ロボット PHT-R-4

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。

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大口径ノンスピルカップリング『TCH』

残圧下6barまで接続が可能！着脱時の液だれほぼ無しを実現！ハンドルを回して簡単着脱の大口径カップリング！(25A～50A)

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水冷回路自動調芯ブラインドメイト仕様ノンスピルカップリング『CGD』

チャンバーLIDやテストハンドラの水冷に適した、最大±1mmの芯ずれを補正するブラインドメイト仕様（ロック機構なし）のコネクタです。コネクタ…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『DAG』

ノンスピル構造、押し込むだけで片手で接続できるオートマチック・ボールロックを備えた、コンパクトな水冷用途専用のクイックカップリングです…

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ステンレス製ノンスピルカップリング『MCB』

ノンスピル構造、オートマチック・ボールロックを備えた高性能カップリングです。豊富なオプション設定がございます。耐極低温（－１００℃ま…

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IP-KVMスイッチ CNシリーズ

ATENジャパン株式会社

製造装置の管理PCにポン付けでクリーンルームの内外から製造装置を一元管理

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Sonosys社　超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄用）

ティックコーポレーション株式会社

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

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Sonosys社　超音波洗浄装置 (枚葉洗浄）

ティックコーポレーション株式会社

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

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ウルトラフロー　チラー冷却配管向けカップリング

温室効果ガス排出を防ぎ、冷却効率を上げる大流量・低圧力損失カップリング

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タンク・コンテナ・フレコンへの材料（粉体・スラリー・液体）の自動投入及び排出装置

粉体・スラリー・液体などの投入や払い出し時の配管やフランジの着脱作業を自動化！

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耐紫外線光ファイバ

ＭＦオプテックス株式会社

波長215nm、248nm、360nm等の深紫外光の伝送を可能にした光ファイバ半導体製造装置などに多数実績

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VZθアクチュエータ

ケーエスエス株式会社

ミニチュアボールねじスプライン(BSSP)を応用し、直動(Z)、回転(θ)、吸着(V)の3つの機能を1つの製品で実現したユニット製品

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ブラインドメイト　オート・カップリング

ラックに組み込み可能な「小型オート・カップリング」

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コンパクト電動グリッパ

ケーエスエス株式会社

KSSの世界最小クラス開閉ボールねじを使用した軽量、コンパクトな電動グリッパです。

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スパンカーヘッド

生産上や手配上の課題がありましたらご相談下さい。

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ワイヤーボンダー用スパーク電極 / EFOトーチ

酸化による磨耗が少ない。価格が安いものも。

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SMTノズル

【低価格】標準ノズル、及び先端形状をカスタマイズしたノズル。

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セラミック加工部品

高精度かつ安価なセラミック部品をお届け。

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ウェッジ

アルミボンディングマシン用のウェッジ他を提供できます。

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エポキシディスペンシングノズル / ディスペンスノズル

テーリング、ブリッジング、ボイド等不安定なエポキシ塗布量などの問題解決

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ディスペンスノズルカスタム品

メーカーから提供されていないカスタム製品も製作します。

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スタンピングツール (転写ピン)

対象となるダイサイズにおいて、最適な形状を長い設計経験の中からアドバイスします。

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超硬製/金属製ダイコレット

強度、温度、耐摩耗が要求されるシーンで採用される

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コレットホルダー

半導体を運ぶための駆動部分になります。

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アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】MB type アクティブマルチプルベース

倉敷化工株式会社

定盤・架台レスで導入時のストレスを解消装置への後付けも楽々世界最高レベルの除振性能はそのままにあらゆる装置への対応が可能になった…

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【特許技術】金属イオン溶出のない「自動着脱用樹脂コネクタ（弁）」

金属イオンの溶出を嫌うラインの自動化に！コネクタ（弁）単体だけでなく、自動化装置全体も設計・製作致します。特許取得済みです。

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FOUP/FOSB寸法測定装置

株式会社清和光学製作所

FOSB寸法測定装置　”セルフィ―”発売

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アクティブ除振ユニット【空圧制御】A type

倉敷化工株式会社

アクティブ制御とジンバルピストン機構により全周波数帯での優れた除振性能を発揮します。

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アクティブ除振ユニット【リニアモーター制御】LHKP type 制振リニアアクティブ除振台

倉敷化工株式会社

リニアモーター制御と空圧制御の両方の長所を追求した最高性能の除振台

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ウエハー３D検査シリーズ

株式会社清和光学製作所

多種３D検査装置を提案します。

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ボンディングWaferズレ検査装置

株式会社清和光学製作所

【概要】両面パターン、貼り合せウェハのパターンズレを測定・検査を行います。表-裏面、表-表面、表-界面等非破壊で観察できます。また、…

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半導体材料の溶出試験

株式会社住化分析センター

『半導体材料の清浄度評価のための溶出試験』

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フォトマスク

竹田東京プロセスサービス株式会社株式会社

万全の生産体制で高精度かつ高品質なフォトマスクをご提供します！

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スクリーンマスク

竹田東京プロセスサービス株式会社株式会社

高精度製版技術でお客さまの多種多様なニーズにお応えします！

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レチクル

ステッパー露光装置用レチクルです。(9インチまで可！)

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【請負】半導体プロセスエンジニアリングサービス

アットフィールズテクノロジー株式会社

経験豊富な半導体プロセス技術者をお客様の課題に応じてタイムリーにチーム化し、お客様課題解決に向けた現場サービスを提供します。 20年以上…

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半導体（SiC、Si）やセラミックス基板の切断

合同会社ブリマテック

スクライブ＆ブレークでカーフロスのないドライ加工を実現

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金属イオン溶出の無い自動着脱装置（オートコネクタ）

金属イオンの溶出を嫌うラインでの、着脱作業を自動化します。大きな偏芯量にも対応します。

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【特許技術】配管自動切換装置（マルチタイプ）

【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。

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ラビング・ジグ　MRG-100

株式会社イーエッチシー

ラビング処理装置の入門機。

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ウェハ直描加工

フォトマスクを使用せずにウェハ上にダイレクト露光いたします。

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コピーマスク