カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
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- 真空バルブ
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- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
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- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
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- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
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- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
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- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
【特許技術】金属イオン溶出のない「自動着脱用樹脂コネクタ（弁）」
金属イオンの溶出を嫌うラインの自動化に！コネクタ（弁）単体だけでなく、自動化装置全体も設計・製作致します。特許取得済みです。
※コネクタ単体だけでなく、弊社の自動着脱装置や配管自動切換装置と組み合わせてご使用いただけます。
自動化装置全体も設計・製作致します。
仕様外のコネクタが必要な場合も、貴社仕様に合わせてオーダーメイド可能です。
■特長
・内部構造が非常にシンプルで流体の滞留部がない→高い洗浄性
・内弁開閉機構を接液部と完全隔離→軸部局所ＳＩＰ不要
・シール部品への廻り込みがない独自の固定方法を採用→コンタミの撲滅
・接液部材質が全てPTFE（PVCでも製作可能）で構成→金属イオンの溶出を嫌う流体へ使用可能
・塩酸のような強酸ラインでもご使用いただけます。金属に比べて、耐久性UP
・従来型同サイズ弁に比べ、小型・軽量化を実現→優れたメンテナンス性
基本情報
■標準仕様
駆動方法 ：常時閉型空気圧駆動式
接液部材質 ：PTFE ※Oリング材質は任意選定可能
適用流体 ：各種プロセス流体／不活性ガス
適用流体温度 ：0～100℃（ただし凍結なき事）
最高洗浄温度 ：143℃（蒸気／熱水0.5MPa以下）
使用圧力 ：常用0.6MPa（本体耐圧1.0MPa）
最小通路断面積 ：接続配管断面積以上
内弁の開閉耐久性：20,000回（社内耐久試験10万回クリア）
（清水～150℃蒸気、0.2～0.5MPaでの連続作動耐久回数）
操作空気圧力 ：0.4MPa
カタログ
取扱企業
ナブテスコサービス株式会社
業種：産業用機械 所在地：兵庫県 神戸市中央区中町通 2-3-2
自動着脱装置/オートカプラ/配管自動切換装置/コネクタは50年以上の実績がある製品です。
弊社は自動着脱装置、配管自動切換装置、コネクタを設計・製造・販売しております。お客様のご要望に合わせてオーダーメイドで製作致します。半導体業界向けにも納入実績があり、金属イオン溶出のないカプラ（特許技術）を用いて、配管接続作業を自動化するオートコネクタ（オートカプラ）が人気です。自動化でお困りの際には、お気軽にお声掛け下さい。
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【特許技術】金属イオン溶出のない「自動着脱用樹脂コネクタ（弁）」
